石英玻璃真空观察窗(Viewports)技术参数:
漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气
平行度: <10 Arc Minutes
法兰材料: 304/316 不锈钢
平面度: l/4 @ 632nm Transmitted Wavefront
表面抛光度:20/10
热量范围: -100?C- 200?C
材料: Corning ARF 193 Fused Silica
传感:≥99.5% @ 193nm (内部)
均匀等级: A
杂质等级: 0
观察窗,熔融石英,超紫外(EUV),窗体2.7,CF450
准分子级石英窗体,烘烤温度达200摄氏度,无磁性材料,高真空中的传输范围可达193纳米,零长度型,超高真空适用
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